株式会社 東邦鋼機製作所
当社は長年にわたり立型旋盤を中心とした精密加工技術の向上に努めて参りました。この技術を生かして半導体分野へ進出し、2000年から基板研磨用のパッド加工装置の製造販売を開始しました。本装置はニッチ市場ながら標準技術となり海外でも広く利用されています。
2024年から、次世代自動車で注目を集めているパワー半導体用基板の飛躍的な性能向上が期待できるCARE法加工装置の販売を開始致します。
会社概要
- 会社名
- 株式会社 東邦鋼機製作所
- 代表者名
- 代表取締役社長 鈴木辰俊
- 所在地
- 事業内容
- パワーデバイス用CARE加工装置及びCMPパッド加工装置製造販売・機械部品受託加工
- 得意技術
- パワーデバイス用半導体基板をナノレベルに平坦化できるオンリーワン技術
主要設備
設備 | 型式仕様 | メーカー名 | 台数 |
---|---|---|---|
ターニング | テーブル径 最大5m | オーエム製作所 | 7 |
横中グリ盤 | フロア型 テーブル型 | 芝浦機械 | 3 |
門型ドリルセンター | 最大門幅 4.5m | 不二精機 | 2 |
天井クレーン | 最大30t | 名古屋工業所 他 | 7 |
リフト | 最大7.5t | 住友ナコフォークリフト 他 | 3 |
クリーン室 | 450㎡ | 1 | |
CARE加工装置 | 最大6インチ基板 | 自社 | 4 |
CMPパッド加工装置 | 最大径1150mm | 自社 | 2 |
スパッター装置 | アルバック 他 | 2 | |
基板表面検査装置 | レーザーテック 他 | 5 | |
基板洗浄装置 | 1 | ||
基板物性・特性検査装置 | リガク | 2 |